濺射(shè)薄膜式(shì)壓力傳感器的原理與特點介紹
來源(yuán):未知(zhī)
發布(bù)時間:2022-01-21 14:28
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文章來源:南京(jīng)默茂電子科技(jì)有(yǒu)限公(gōng)司
濺射薄膜(mó)式壓力傳感器是一種結合(hé)半導體技術(shù)綜合而成的高質量產品,其在(zài)行業應用方(fāng)麵比傳統的產品更(gèng)加(jiā)具備優勢。本篇主要介紹了(le)它的工作原理與特點,希望可以幫助到各位。

2、 濺射膜壓力傳感器耐高(gāo)強度震動和衝擊、不泄漏、耐腐蝕,由於薄膜壓力傳感器是通過(guò)激光焊(hàn)接或(huò)等離子焊接的辦法(fǎ)將敏感(gǎn)芯體和不鏽鋼壓力接嘴焊接成一個整體,因(yīn)此濺射薄膜壓力傳感器沒有任何“O”型橡膠密封圈(quān),也沒有(yǒu)充矽油(yóu),壓力介質(zhì)直接作用在耐蝕不鏽鋼敏感芯體上,產品經得起高強度的震動和衝擊,絕無泄漏的危險(xiǎn)。
3、濺射膜壓力傳感器溫度特性好,薄膜壓力傳感器由於采用(yòng)半導體工藝技術和激光調阻技術,利用電橋自補償特性,在-200℃∽400℃全溫區範圍內溫漂小於0.02%/℃。
4、濺射膜壓力傳感器測量真實(shí)、頻響(xiǎng)高 ,由於壓(yā)力介質直接作用在(zài)耐(nài)蝕不鏽鋼敏感芯體上,無隔離膜和充灌液(yè),因此測量真實、頻響高。通過設計頻響可達20KHZ以(yǐ)上。
綜合上述介紹來看(kàn),濺射薄膜式壓力(lì)傳(chuán)感器的產品優勢非(fēi)常明顯,在很多地方都(dōu)具備應用(yòng)價值。

一、濺射薄膜式(shì)壓力傳感器的工作原理
當被測介(jiè)質壓力(P1)作用於彈性不鏽鋼膜片一側時,彈性膜片受到壓力作用產生變形,位(wèi)於另一麵的惠斯頓(dùn)電橋橋臂電阻薄膜的幾何尺寸發生相應的變形(xíng),阻值隨之相應(yīng)改變,電橋因(yīn)阻值改變而產生與壓(yā)力成線性比例的輸出信號,將此信號經放大調(diào)節等處理,再傳(chuán)輸給處理電路(通常是A/D轉換和(hé)CPU)顯示或執行機構。
二、濺射薄膜式壓力傳感器(qì)的(de)特點
1、濺射膜壓力傳感器長期穩定性好(hǎo)、工作溫度寬、精度高、重複性好, 由於絕緣膜和(hé)基底、敏(mǐn)感膜與絕緣膜之間是直接在高(gāo)真空環境內澱積在一起,各薄膜層間(jiān)是(shì)原子力的結合,消除了(le)粘貼膠帶來的蠕變影響,同時敏感膜在高真空環境內(nèi)得到二氧化矽保護膜保護(hù),故特(tè)點是精度高、重複性好、長期穩(wěn)定性好,工作溫(wēn)度寬(通過不同的設計可(kě)以達到耐溫-200℃∽400℃的壓力敏感芯體)。可長期在高溫高壓下工(gōng)作。2、 濺射膜壓力傳感器耐高(gāo)強度震動和衝擊、不泄漏、耐腐蝕,由於薄膜壓力傳感器是通過(guò)激光焊(hàn)接或(huò)等離子焊接的辦法(fǎ)將敏感(gǎn)芯體和不鏽鋼壓力接嘴焊接成一個整體,因(yīn)此濺射薄膜壓力傳感器沒有任何“O”型橡膠密封圈(quān),也沒有(yǒu)充矽油(yóu),壓力介質(zhì)直接作用在耐蝕不鏽鋼敏感芯體上,產品經得起高強度的震動和衝擊,絕無泄漏的危險(xiǎn)。
3、濺射膜壓力傳感器溫度特性好,薄膜壓力傳感器由於采用(yòng)半導體工藝技術和激光調阻技術,利用電橋自補償特性,在-200℃∽400℃全溫區範圍內溫漂小於0.02%/℃。
4、濺射膜壓力傳感器測量真實(shí)、頻響(xiǎng)高 ,由於壓(yā)力介質直接作用在(zài)耐(nài)蝕不鏽鋼敏感芯體上,無隔離膜和充灌液(yè),因此測量真實、頻響高。通過設計頻響可達20KHZ以(yǐ)上。

綜合上述介紹來看(kàn),濺射薄膜式壓力(lì)傳(chuán)感器的產品優勢非(fēi)常明顯,在很多地方都(dōu)具備應用(yòng)價值。
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